4.8. Технические характеристики установок для ЭЛО

высоких скоростей откачки газа, так как ЭЛО материалов всегда связана с газо- и паровыделением. Систему откачки выполняют двухступенчатой с последовательным включением механического, форвакуумного и паромасляного насосов.

Системы перемещения заготовки и наблюдения за ходом процесса выполняют по различным схемам - от простых до весьма сложных при выполнении прецизионных операций, в том числе и с применением телевизиои- ных систем.

В нашей стране выпускается ряд специализированных установок для ЭЛО (в основном для сварки), модернизация которых позволяет использовать их и для других процессов. В табл. 4.8 приведены технические характеристики некоторых установок для ЭЛО 1211.

4.9. Параметры отечественных ОКГ и лазерных технологических установок

* ОК.Г, используемые в технологических установках. ** Размеры стола 300X100 мм. ..

1-200

20 До 10

(5+50)- 10s

Непрерывный процесс излучения П-=-25)-103 (0,5-f-25)X

Х108 (5-50)- 10s

(5-£-50) 103

Сварка металлов при %гв =

- 0,2 мкм; v = 150 мм/мии; h -

- 0,3 мм; d == 0,25-i-1 мм Сварка корпусов интегральных

микросхем; h == 0,1ч-0,3 мм; осв = = 500 мм/мин

Прецизионная мнкросварка элементов интегральных микросхем

Шовная и точечная сварка, прошивание отверстий, термообработка

Пайка микросхем на печатные платы: 500 точек/мин; резание диэлектрических и металлических заготовок; сварка и термоупрочнение

Прошивание отверстий d - 80чг -ь200 мкм

Установка с ЧПУ и УЗ-модуля-цией излучения; прошивание отверстий d = 10ч-200 мкм

Резание стеклянных труб

Скрайбирование полупроводниковых пластин, резисторов

Сварка, термообработка, резание, термораскалывание

Производство СБИС Подгонка сопротивлений

Скрайбирование полупроводниковых пластин То же