редачи 24. Контроль ориентации ПФО производится датчиками базирования 35.

Кассеты 31 для размещения ПФО закреплены на каретке 27, которая может перемещаться перпендикулярно платформе 18 в шариковых направляющих. Привод перемещения каретки включает электродвигатель 32, редуктор 34 и реечную передачу 33. Контроль положения каретки производится датчиком 29 по перемещению кодовой линейки 30.

Оптическая схема фотоповторителя показана на рис. 7.11. Излучение ртутной лампы 2 типа ДРШ рефлектором 1 направляется через линзу 3 в плоскость затвора 4. Далее поток ультрафиолетового излучения проходит через блок растров 5, каждый из которых состоит из 37 линз, находящихся в фокусе соответствующей линзы второго растра. С помощью линзы 6, отклоняющих зеркал 9, 8 и конденсора 7 на ПФО 10 направляется равномерный поток излучения. Объектив 19 проецирует изображение ПФО с десятикратным уменьшением в плоскость фотопластины 21.

Датчик базирования ПФО включает осветитель 15, коллектор 14, конденсор 13 и призму 11, которые направляют поток света на знак базирования ПФО. Поток света, прошедший через прозрачный участок знака, призмой 12 и объективом 18 направляется на маску 17. Количество световой энергии, попадающей на маску, анализируется фотоприемником 16 и преобразуется в сигнал управления приводами базирования ПФО.

Фотопластина 21 перемещается при мультипликации по координатным осям с помощью кареток 22, 23 и аэростатических на правляющих 20, 27 и 28, 30. Для контроля перемещения кареток используются два датчика линейных перемещений. Каждый датчик включает отражательную дифракционную решетку 24, закрепленную на каретке, и прозрачную дифракционную решетку 25, неподвижно закрепленную в корпусе датчика совместно с излучателем 29 и фотоприемником 26.

Датчики базы производят контроль начальной установки кареток координатного стола и периодический контроль их положения. Каждый датчик базы содержит измерительную линейку 33, закрепленную на каретке, освещаемую светодиодом 31 через полупрозрачное зеркало 34 и линзу 32. При перемещении каретки изображение линейки 33 проецируется линзой 35 и перемещается в плоскости растра 36, возникающий при этом переменный световой поток поступает на фотоприемник 37.

Принципы действия датчиков линейных перемещений и датчиков базы фотоповторителя и ранее рассмотренного генератора изображений аналогичны (см. § 7.2).

Датчик фокусировки фотоповторителя предназначен для контроля отклонения экспонируемой поверхности от плоскости изображений проекционного объектива. Луч света от источника 43 проходит через светофильтр 44, вырезающий актиничную состав-

ляющую излучения, линзу 45, растр 46, склеенную линзу 47, отражается от полупрозрачного зеркала 42. Отраженный от.зеркала луч проходит второй растр 41, сканирующий диск 40, компенсатор хроматизма 39 и зеркалом 38 направляется в проекционный объектив 19. Объектив формирует изображение растра на поверхности фотопластины 21. Отраженное от этой поверхности автоколлимационное изображение растра теми же оптическими элементами проецируется в область растра 41. Свет от него через полупрозрачное зеркало 42 и линзу 48 направляется на фотоприемник 49. Особенностью оптической системы датчика является то, что склеенная линза 47 проецирует изображение первого растра 46 в плоскость второго растра 41, при этом их рисунки должны точно совпадать друг с другом. Автоколлимационное изображение отраженного растра строится в зависимости от угла поворота сканирующего диска его утонченной или утолщенной частью, поэтому оно периодически создается перед или за плоскостью растра 41. Количество света, проходящего через растр 41 и попадающего на фотоприемник 49, обратно пропорционально расстоянию от плоскости растра до его автоколлимационного изображения. Положение растра выбирается таким, чтобы при точной фокусировке автоколлимационное изображение создавалось на равных расстояниях от него. При этом световые потоки на фотоприемник одинаковы при прохождении отраженного луча света через оба участка сканирующего диска 40. Расфокусировка приведет к смещению автоколлимационного изображения относительно растра 41 и к изменению световых потоков за один оборот сканирующего диска. Электрический сигнал, вырабатываемый фотоприемником 49 совместно с сигналом синхронизации, несущим информацию о вращении диска 40, поступает в систему управления. Изменением давления воздуха в аэростатических направляющих производится подъем или опускание кареток с фотопластиной на требуемую величину.

Основные технические данные современных фотоповторителей:

ЭМ-562Д ЭМ-}62Б

Производительность (без учета времени экспонирования), мультнпл./ч:

при шаге мультипликации 3X3 мм . . . 3500 3500 при шаге мультипликации 6x6 мм . . 2500 2500 Рабочее поле координатного стола, мм2 . . . 140x140 150x150 Дискретность перемещений координатного стола, мм ............ 0,1 0,1

Погрешность позиционирования координатного

стола, мкм........... +0,4 +0,4

Невоспронзводнмость позиционирования координатного стола, мкм, не более...... 0,4 0,4

Размер модуля на фотошаблоне, мм . . . . ЮхЮ 6x6

Предел фотографического размещения, мкм . . 1,2 1 Невоспронзводнмость элементов размером 2 мкм,

не более........... 0.4 0,4

7.4. УСТАНОВКА КОНТАКТНОГО РАЗМНОЖЕНИЯ РАБОЧИХ ФОТОШАБЛОНОВ

Установка предназначена для получения копий ЭФШ - рабочих фотошаблонов - на металлизированных или эмульсионных заготовках. Большинство установок этого типа (модели ЭМ-583, Тамарак и др.) построены по единой схеме и содержат следующие основные узлы: осветитель, механизм прижима, вакуумно-пневматическую систему (рис. 7.12). Типовая циклограмма работы установки контактного тиражирования (рис. 7.13) включает следующие этапы.

В исходном состоянии крышка механизма прижима 23 открыта, все клапаны выключены. Через запорный клапан 1 установка соединяется с источником вакуума. Для закрепления ЭФШ включается клапан 5, соединяя источник вакуума через регулятор 2, канал 4, распределитель 6 и канал 9 с камерой Сэ. Регулятор 2 связан контрольным каналом 7 с распределителем 11 и настраивается таким образом, чтобы разрежение в выходном канале 4 регулятора 2 всегда было на 6,5... 10 кПа больше, чем в камере С. Поскольку в исходном состоянии давление в камере С равно атмосферному, ЭФШ прижимается этим давлением к уплотнению крышки.

После загрузки копии крышка механизма прижима закрывается, при этом срабатывает конечный выключатель, связанный с блокирующим клапаном 17. Одновременно с этим клапаном включаются также клапаны 15 и 26. Включение клапана 15 необходимо для откачки камеры Ск и закреплении копии. Откачка производится через распределитель 16, блокирующий клапан 17 до создания в камере Ск разрежения, которое на 6,5... 10 кПа больше, чем в камере С. Через клапан 26, регулятор давления 28, дроссель 27 производится продувка камеры С азотом для удаления из нее атмосферного воздуха. Давление подаваемого азота контролируется манометром 29.

По окончании продувки камеры С азотом клапан 26 отключается и начинается основной цикл работы установки (точка А на графике рис. 7.13). Для этого включается клапан 10, соединенный с вакуумным каналом 3. Через распределитель 11, балластную камеру 12 и канал 13 производится откачка камеры С. Камеры Сэ и Ск соединяются между собой клапаном 25, давление в них уравнивается, оставаясь за счет настройки регулятора 2 на 6,5... ...10 кПа ниже, чем в камере С. Производится одновременная откачка всех трех камер. Разница давлений в камере С и камерах Сэ и Ск прижимает ЭФШ и копию к резиновым уплотнениям, отжимая их друг от друга и давая возможность откачать камеру С. По мере откачки всех трех камер разрежение в них сравнивается на уровне 16,5 кПа (точка В на графике рис. 7.13), упругие уплотнения прижимают пластины ЭФШ и копии друг к другу. 180

Рис. 7.12. Принципиальная схема установки контактного размножения РФШ

5 10 20 Продолжительност1-

25 J0 цикла, с

Рис. 7.13. Циклограмма работы установки размножения РФШ